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片狀氧化鋁微粉Platelet aluminum oxide 15um

日期：2024-12-21 10:21:10　人氣：點擊：


片狀氧化鋁微粉Platelet aluminum oxide 15um

 
       片狀氧化鋁微粉Platelet aluminum oxide 15um對標Fujimi PWA15和Microgrit WCA15。因其氧化鋁顆粒性質(zhì)類似于血小板，又被稱為平板狀氧化鋁微粉。它經(jīng)過高溫煅燒加特殊助劑制成，使氧化鋁達到片狀的晶體結(jié)構(gòu)，也盡量降氧化鋁轉(zhuǎn)換成阿爾法相，保證其作為研磨粉拋光粉的硬度和均勻度。片狀氧化鋁特殊的片狀結(jié)構(gòu)可以防止晶圓研磨時的劃傷問題，大大提高了晶圓的良品率。



片狀氧化鋁/平板狀氧化鋁研磨粉的特點：

 
  1. 海旭磨料生產(chǎn)的片狀氧化鋁對標進口產(chǎn)品，可以達到進口片狀氧化鋁粉的研磨效果。
  2. 晶型平整無棱角，研磨時磨粒于工件之間產(chǎn)生平面滑動效果，不易產(chǎn)生劃痕。
  3. 硬度高，磨削力強。片狀氧化鋁具有類似于剛玉的α-Al2O3晶相，適用與大多數(shù)材料的研磨和拋光。
  4. 磁性物含量低，清潔度高，粒徑一致性高。
  5. 熔點高，機械強度高，磨削效率高。
  6. 顆粒大小可控，3-50微米均可獲得。
  7. 顆粒的平整性使片狀氧化鋁粉體易于分散，適合制成研磨劑或研磨液。
  8. 耐腐蝕、化學穩(wěn)定性強、抗氧化性能優(yōu)越，不會于研磨液中的液體介質(zhì)發(fā)生反應(yīng)。
  9. 比表面積大，表面活性和附著力由于電熔剛玉。
  10. 片狀氧化鋁易于分散，粉體不易團聚在晶圓表面造成堆積，影響拋光平整度。
 

 

化學成分Composition（%）
Item 保證值Standard Value 實測值Tested Value
Al2O3 ≥99.5% 99.60
Fe2O3 ≤0.04 0.032
SiO2 ≤0.03 0.02
Na2O ≤0.02 0.15
物理指標Physical Index
Item 保證值Standard Value 實測值Tested Value
Specific Gravity(g/cm3) 3.96-3.98 3.98
Mohs hardness ≥9 9.0
 

生產(chǎn)規(guī)格：

型號 D3(um) D50（um） D94（um）
HXTA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20
HXTA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17
HXTA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
HXTA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
HXTA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
HXTA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
HXTA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
HXTA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
HXTA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
HXTA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1
 

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