晶硅片磨片用什么材料

日期：2021-04-20 15:58:35　人氣：點(diǎn)擊：

對(duì)單晶硅片進(jìn)行研磨拋光、減薄是加工硅片的重要工序。硅片切割后表面會(huì)有切割損傷，平整度不高，硅片研磨時(shí)對(duì)研磨的精度要求較高。
一般選用白色氧化鋁粉末1200目，1500目，2000目作為磨片介質(zhì)，拋光效果比較好，硅片表面無劃痕，可以達(dá)到表面10-20um的粗糙度，為后道研磨鏡面效果做準(zhǔn)備。
海旭磨料生產(chǎn)的白色氧化鋁微粉，具有粒度集中，硬度高，純度高的特點(diǎn)，避免了研磨拋光出現(xiàn)大顆粒損傷表面的弊端。